| 粉体材料类型 |
| Y₂O₃ 高纯陶瓷氧化钇粉末 石墨板喷涂 球形 纯度：99.95% 凝聚和烧结 |
| 牌号（PZ） |
| PZ- 6035A-1 |
| 规格 （μm） |
| –53 +15 –106 +16 |
| 性能及应用 |
|
暴露表面的等离子体蚀刻和耐侵蚀性，用于半导体制造中的反应等离子体气体系统，如真空室壁等部件。 静电轻叩 石墨模具衬里 |
| Y₂0₃ | 99.5 |
| Fe₂0₃ | <0.1% |
| Al₂0₃ | <0.1% |
| Ca0 | <0.1% |
| Si0₂ | < 0.1% |
| Plasmagenerator | F4 |
| Plasma Gas Ar(SLPM) | 42 |
| Plasma Gas H₂(SLPM) | 11 |
| Current(A) | 550 |
| Spray Distnce(mm) | 120 |
