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Y₂O₃ 高纯陶瓷氧化钇粉末 石墨板喷涂

产品编号: PZ- 6035A
Y₂O₃ 高纯陶瓷氧化钇粉末
石墨板喷涂
球形
纯度:99.95%
凝聚和烧结
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描述
 
 粉体材料类型
  Y₂O₃ 高纯陶瓷氧化钇粉末 石墨板喷涂 球形  纯度:99.95%  凝聚和烧结
 牌号(PZ)
 PZ- 6035A-1
 规格 (μm)
 –53 +15    –106 +16
 性能及应用

 暴露表面的等离子体蚀刻和耐侵蚀性,用于半导体制造中的反应等离子体气体系统,如真空室壁等部件。

 静电轻叩

 石墨模具衬里



典型的化学成分
 
Y₂0₃ 99.5
Fe₂0₃ <0.1%
Al₂0₃ <0.1%
Ca0 <0.1%
Si0₂ < 0.1%



喷 雾 参 数
 
 Plasmagenerator   F4 
Plasma Gas Ar(SLPM) 42
Plasma Gas H₂(SLPM) 11
Current(A) 550
Spray Distnce(mm) 120
                                                                                                                                                                                    

涂 层 性 能

硬度::约.1.000 HV 0.3          适用于540℃          具有良好的研磨抛光性能


产 品 应 用



 
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